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Simulation S/W  STR
 

 

▶▶FETIS : Modeling of HEMT and FET structure
▶▶STREEM InGaN : Modeling of III-Nitride devices
▶▶SimuLED : Modeling of optoelectronic and electronic devices
▶▶CVDSim 3D : Modeling of epitaxy, MOVPE of Nitrides
▶▶Virtual Reactor : PVT, CVD and HVPE bulk crystal growth of SiC, AlN, GaN, Si, III-V and II-VI
▼▼ CGSim : Cz, Ky, HEM crystal growth from the melt
■  [제품]  CGSim (Crystal Growth Simulator)
l Melt (Si, Ge, III/V, oxides, fluorides, halides ) 또는 Solution (SiC, GaN )에서 결정을 성장하는 공법

   (Czochralski, DS, Kyropoulos, HEM, Bridgman, FZ, Flux Method )에 대한 전용 모델링 프로그램

l 기존의 범용 모델링 프로그램에 비해서 User-friendly interface 를 가지고 있고, 공정에 필요한

   databaseequation이 프로그램에 탑재되어 있기 때문에, 시뮬레이션 전문가가 아니더라도 효과적으로 사용 가능 

l CGSim packageCGSim-2D, Flow Module-3D, Cz Dynamics 로 구성됨
■  [제품]  Modeling of CGSim-2D
Heat transfer
Gas flow
Melt flow
Turbulence
Melt/crystal interface shape
Ready models for species (C, O, N, B, P)
Thermal stresses
Defects

위의 영역 외에도 Modeling 영역은 User의 요청에 따라  주기적으로 업데이트 되고 있습니다.


■  [제품]  Modeling of FlowModule-3D
3D analysis of turbulent and laminar convection in the crystallization zone
The user can choose the RANS, LES/URANS, DNS or quasi DNS approaches.
4th approximation orders 를 사용하기 때문에 모델링 결과의 accuracy 가 상당히 높음
■  [제품]  Modeling of Cz Dynamics

Transient modeling of crystal pulling process
Analysis of effect of variable crystal pulling rate on distribution of vacancies and interstitials and on location of OSF ring in the crystal

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